Mikrofabrikation
Die Mikrofabrikationsanlage bietet Platz, Ausrüstung und Unterstützung bei der Entwicklung und Herstellung von Geräten für mehrere Gruppen innerhalb des Instituts und für andere Forschungseinrichtungen. Der Reinraum (35 m2 - Klasse 1000) wird für die Entwicklung von Silizium-Mastern mittels Fotolithografie genutzt und ist mit einem Spin-Coater zum Auftragen dünner Schichten von SU-8-Fotoresist, Heizplatten zum Einbrennen des Resists und zwei Mask Alignern (EVG-620, UV-KUB 3) zur Belichtung der Wafer mit UV-Licht ausgestattet. Strukturen von 7-10 Mikrometern können hergestellt werden, und ein Weißlichtinterferometer (Wyko NT1100) wird zur genauen Messung der Schichtdicke, der Oberflächenrauheit und der Oberflächenmerkmale verwendet.
Die mikrofluidischen Geräte werden außerhalb der Reinraumumgebung zusammengebaut, nachdem der hergestellte Siliziummaster abgeformt wurde. Die Einrichtung ist auch mit einem 3D-Laserlithographiesystem (Photonic Professional GT) ausgestattet, mit dem einzigartige 3D-Strukturen und -Geräte mit einer Auflösung im Submikronbereich hergestellt werden können. Ausgehend vom CAD-Modell der Struktur ist es mit Hilfe einer integrierten Software möglich, Strukturen mit einem hohen Grad an Komplexität durch Zwei-Photonen-Polymerisation eines UV-härtenden Photoresists schnell zu drucken.
Neben der Lithographie wird eine Hochpräzisionsfräsmaschine (DMU 50, DMG Mori Seiki) eingesetzt, um Mikrokanäle in Hartplastik und Metalle mit Abmessungen von 150 Mikrometern bis zu 10 cm zu strukturieren.
Die Anlage spielt eine zentrale Rolle bei der Entwicklung mikrofluidischer Plattformen zur Erzeugung von Kompartimenten, die zelluläre Systeme im Rahmen des Max-Planck-Netzwerks für Synthetische Biologie (MaxSynBio/cors), einer gemeinsamen Max-Planck-BMBF-Initiative, nachahmen. Die Einrichtung bietet Schulungen und Unterstützung bei der Mikrofabrikation auf allen Ebenen an, vom Entwurf bis zur Verwendung von mikrofluidischen Geräten.
